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Sic substrato
Created with Pixso. Piastra di supporto SiC resistente alle alte temperature/piastra di supporto per portatori di wafer

Piastra di supporto SiC resistente alle alte temperature/piastra di supporto per portatori di wafer

Marchio: ZMSH
Numero di modello: Piastra di sostegno/piastra di supporto in SiC
prezzo: by case
Tempo di consegna: 2-4weeks
Condizioni di pagamento: T/T
Informazioni dettagliate
Luogo di origine:
Cina
Certificazione:
rohs
Tipo di materiale:
CVD-SiC
Diametro:
100-500mm
Spessore:
10 - 50 mm
Temperatura massima di funzionamento:
1650°C
Densità:
30,10-3,21 g/cm3
Durezza (Mohs):
9,2
Evidenziare:

Piastra di supporto SiC resistente alle alte temperature

,

Piastra di supporto SiC per portatori di wafer

,

Placca di supporto SiC resistente alle alte temperature

Descrizione di prodotto

 

Piastra di supporto SiC / Piastra di supporto ¢ Riassunto chiave

 

 

Piastra di supporto SiC resistente alle alte temperature/piastra di supporto per portatori di wafer

 

 

Le piastre di supporto a carburo di silicio (SiC) sono componenti ceramici ad alte prestazioni ampiamente utilizzati in settori produttivi avanzati come semiconduttori, LED e fotovoltaici.Rinomati per la loro eccezionale resistenza termicaLa ZMSH fornisce soluzioni personalizzate di piastre di supporto SiC, tra cui progettazione, produzione, collaudo e test.,e assistenza post-vendita, garantendo una maggiore stabilità dei processi e un'efficienza della produzione.

 

 


 

Specifica tecnica:

 

 

Parametro Specificità Unità Altre note
Tipo di materiale CVD-SiC / RBSiC / HPSiC - Opzionale
Diametro 100-500 (personalizzabile) mm Costumi
Spessore 10 a 50 mm Regolabile
Temperatura massima di funzionamento 1650 °C A lungo termine
Conduttività termica 120-200 W/m·K A 25°C
Coefficiente di espansione termica 4.0×10−6 /°C NT1centigradi
Densità 3.10-3.21 g/cm3 Teorico
Porosità < 0,5% - Densità
Roverezza superficiale (Ra) < 0,2 (polito) μm Rifinitura a specchio
Piatto ≤ 0.05 mm/100 mm Grado di precisione
Durezza (Mohs) 9.2 - Secondo solo al diamante
Resistenza alla piegatura 350-450 MPa 3 punti
Purezza > 99,9995% - Classificazione dei semiconduttori

 

 


 

Piastra di sostegno / piastra di supporto SiC

- Sì.

Piastra di supporto SiC resistente alle alte temperature/piastra di supporto per portatori di wafer 0

 

1.Resistenza alle alte temperature- funzionamento stabile al di sopra di 1600°C, adatto a condizioni di processo estreme.

 

2.Conduttività termica superiore¢ supera i materiali tradizionali (es. grafite, allumina) per una rapida dissipazione del calore e una riduzione dello stress termico.

 

3.Bassa espansione termica• Ottima stabilità dimensionale ad alte temperature, riducendo al minimo la deformazione.

 

4.Alta durezza e resistenza all'usuraDurezza di Mohs 9.2, garantendo una durabilità a lungo termine.

 

5.Inerzia chimica️ Resistente agli acidi, alle alcaline e agli ambienti corrosivi (ad esempio, incisione, CVD/PVD).

 

6.Purezza elevataLa composizione è priva di metalli e soddisfa i rigorosi standard dell'industria dei semiconduttori.

 

 


 

Applicazioni primarie diPiastra di supporto / piastra di supporto SiC

Piastra di supporto SiC resistente alle alte temperature/piastra di supporto per portatori di wafer 1

- Sì.1. Compatibilità dei processi

 

· Produzione di semiconduttoriCompatibile con la CVD, la MOCVD e la crescita epitaxiale, garantendo un riscaldamento uniforme del wafer.

· Produzione di LEDSupporta i substrati di zaffiro per una crescita consistente dello strato epitaxiale.

· fotovoltaicaUtilizzato nella sinterizzazione ad alta temperatura e nella deposizione a film sottile.

· Lavorazione di precisione• Adatto per il taglio laser, l'incisione al plasma e altri processi ad alta precisione.

 

 

2. Tipi di materiale

 

· SiC legato a reazione (RBSiC)¢ Redditizio, ideale per l'uso generale ad alta temperatura.

· Deposito chimico di vapore SiC (CVD-SiC)Purezza ultra elevata per processi avanzati di semiconduttori.

· SiC pressato a caldo (HPSiC)Densità e resistenza elevate per applicazioni a carico pesante.

 

 

3Applicazioni principali

 

· Supporto da wafer/sottostrato- Garantisce una distribuzione termica uniforme durante la lavorazione.

· Sostituzione del grafiteEliminano i rischi di ossidazione e di contaminazione da particelle.

· Attrezzature per l'incisioneFornisce un supporto stabile all' ambiente plasmatico.

 

 


Piastra di supporto SiC resistente alle alte temperature/piastra di supporto per portatori di wafer 2

Servizi di ZMSH


1. Disegno personalizzato Optimizate dimensioni, geometria e trattamenti superficiali (ad esempio lucidatura, rivestimenti).

 

2. Fabbricazione di precisione ¢ Tecnologie avanzate di sinterizzazione/CVD per una elevata consistenza e affidabilità.

 

3- Test rigorosi - Ispezione ad ultrasuoni, ciclo termico e protocolli di garanzia della qualità.

 

4- Risposta rapida: consulenza tecnica, prototipazione e supporto alla produzione di lotti.

 

5. Supporto globale ️ Copertura mondiale (Asia-Pacifico, Europa, Americhe) con servizio post-vendita 24 ore su 24, 7 giorni su 7.

 

 


 

Domande e risposte

 

1D: Qual è la temperatura massima per le piastre di supporto in SiC?
R: Le piastre di supporto in SiC resistono fino a 1650°C continuamente, rendendole ideali per i processi CVD/MOCVD a semiconduttori.

 

 

2D: Perché usare il SiC invece della grafite per il supporto dei wafer?
R: Il SiC offre zero contaminazione da particelle, maggiore rigidità e una durata di vita più lunga rispetto alla grafite nella lavorazione di wafer ad alta purezza.

 

 


Tag: #SiC Backing Plate, #Support Plate, #SiC Tray, #MOCVD/CVD, #High-purity Silicon Carbide, #High-temperature Resistant, #Custom, #Wafer Carriers