Componente ottico a specchio SiC di alta purezza lucidato su due lati per micro-specchio MEMS

Componente ottico a specchio SiC ad alta purezza, lucidato su entrambi i lati, per micromirror MEMS

Un piccolo specchio in carburo di silicio (SiC) lucidato su entrambi i lati è un componente ottico ad alte prestazioni prodotto in carburo di silicio (SiC) ad altissima purezza attraverso lavorazioni di precisione e tecnologia di lucidatura su entrambi i lati (DSP). Le sue caratteristiche principali includono dimensioni compatte (tipicamente ≤50 mm di diametro o lato) e finitura superficiale nanoscopica su entrambi i lati, progettata specificamente per i moderni sistemi optoelettronici di fascia alta con requisiti estremi in termini di dimensioni, peso, stabilità e precisione ottica. Sfruttando le proprietà intrinseche del carburo di silicio — elevatissima durezza, elevata rigidità, bassa espansione termica, elevata conducibilità termica ed eccezionale stabilità chimica — viene prodotto tramite processi come sinterizzazione reattiva, deposizione chimica da vapore (CVD) o sinterizzazione senza pressione. L'implementazione della lucidatura di ultraprecisione su entrambi i lati (rugosità superficiale Ra tipicamente ≤0,5 nm) gli consente di fungere da componente principale in molti dispositivi ottici di precisione compatti.

Caratteristiche dello specchio SiC

Scenario applicativo dello specchio SiC

Gli specchi SiC di piccole dimensioni lucidati su entrambi i lati sono utilizzati in modo critico nei seguenti settori di fascia alta grazie ai loro vantaggi unici:

Materiale chiave dello specchio SiC e parametri di prestazione

 

Categoria di parametri	Nome del parametro	Valore/intervallo tipico
Caratteristiche del materiale	Materiale primario	SiC ad altissima purezza
	Densità	~3,0 – 3,2 g/cm³
	Modulo elastico	>400 GPa
	Coefficiente di espansione termica	~4,5×10⁻⁶/°C
	Conducibilità termica	~120 – 200 W/(m·K)
	Durezza Mohs	9,5
Proprietà ottiche e superficiali	Rugosità superficiale (Ra, DSP)	≤ 0,5 nm
	Accuratezza della figura superficiale (PV/RMS)	Fino a λ/10 @ 632,8 nm o migliore
Caratteristiche dimensionali	Intervallo di dimensioni comuni	Diametro o lunghezza del lato 20–50 mm
Caratteristiche funzionali	Temperatura di esercizio	-50°C a 500°C (o superiore, a seconda del processo)

 

 

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Prodotti ceramici SiC di ZMSH

 

 

1. Specchio quadrato SiC Lucidatura di grado specchio per macchina litografica

 

 

 

 

2. Piano di aspirazione in ceramica SiC Lucidatura a specchio per incollaggio flip-chip ad alta rigidità

 

 

 

1. D: Come funzionano gli specchi SiC nell'ottica?

     R: Gli specchi SiC funzionano sfruttando il coefficiente di espansione termica estremamente basso del carburo di silicio (~4,5×10⁻⁶/°C), l'elevata conducibilità termica (~120–200 W/m·K) e l'elevata rigidità (>400 GPa) per mantenere la stabilità superficiale nanoscopica in condizioni di temperature estreme e sollecitazioni meccaniche, garantendo una distorsione minima nei sistemi ottici di alta precisione come i telescopi spaziali o le apparecchiature di litografia EUV.

2. D: Come si comporta uno specchio in carburo di silicio (SiC) in ambienti estremi?

     R: Gli specchi in carburo di silicio (SiC) eccellono in ambienti estremi grazie al loro coefficiente di espansione termica estremamente basso e all'eccezionale stabilità termica. Ad esempio, nelle applicazioni spaziali, funzionano in modo affidabile in un intervallo di temperature da -60°C a 180°C. Nei sistemi LiDAR automobilistici, dove le temperature del vano motore possono superare i 125°C, gli specchi SiC mantengono una deformazione superficiale minima. Inoltre, la loro elevata durezza (durezza Mohs di 9,5) e l'eccezionale inerzia chimica consentono un'efficace resistenza alle vibrazioni, agli urti e alla corrosione da acidi o alcali, garantendo una stabilità a lungo termine in condizioni difficili.

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