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Apparecchiature per l'assottigliamento delle wafer

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April 15, 2025
Connessione Categoria: Attrezzatura a semiconduttore
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Questa apparecchiatura consente di sottilizzare con precisione materiali semiconduttori fragili da 4 a 12 pollici, tra cui il silicio (Si), il carburo di silicio (SiC), l'arsenide di gallio (GaAs) e i substrati di zaffiro,ottenendo una precisione di controllo dello spessore di ±1 μm e una variazione totale dello spessore (TTV) ≤2 μm per soddisfare i severi requisiti della fabbricazione avanzata di imballaggi e dispositivi di potenza.
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#4 pollici forno per la crescita di lingotti di SiC #8 pollici forno per la crescita di lingotti di SiC #6 pollici forno per la coltivazione di lingotti di SiC
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