Sic forno di crescita metodo PVT 6 pollici 8 pollici 12 pollici basso consumo energetico

Sic forno di crescita metodo PVT 6 pollici 8 pollici 12 pollici basso consumo energetico

Il forno per la crescita a induzione del carburo di silicio è un dispositivo per la coltivazione di cristalli di carburo di silicio (SiC) di alta qualità utilizzando la tecnologia di riscaldamento a induzione per fornire un ambiente ad alta temperatura.Il forno di crescita a induzione riscalda direttamente il crogiolo di grafite e le materie prime attraverso il principio di induzione elettromagneticaHa le caratteristiche di velocità di riscaldamento rapida, controllo della temperatura preciso e basso consumo energetico ed è una delle attrezzature chiave per la preparazione di singolo cristallo di carburo di silicio.

Caratteristiche delForno per la crescita a induzione di SiC

· riscaldamento ad alta efficienza: velocità di riscaldamento per induzione, elevata efficienza termica, basso consumo energetico.

· Controllo della temperatura preciso: la precisione del controllo della temperatura può raggiungere ±1°C per garantire la qualità della crescita dei cristalli.

· Alta stabilità: riscaldamento a induzione senza contatto, riduzione dell'inquinamento, adatto per un lavoro continuo a lungo termine.

· Basso inquinamento: grafite ad alta purezza e atmosfera inerte sono utilizzati per ridurre l'influenza delle impurità sulla qualità dei cristalli.

Specifiche tecniche

Vantaggi di progettazione

1. soddisfare 6 pollici / 8 pollici di crescita cristallina;

2. soddisfare l'ambiente di crescita dei cristalli semisolati e conduttivi, rotazione del crogiolo per migliorare l'uniformità della temperatura, sollevamento della bobina per ridurre i disturbi;

3. struttura a cilindro di quarzo a doppio strato raffreddata con acqua, può migliorare efficacemente la durata della camera, fornire un ambiente di cristalli lunghi e stabili, favorevole alla crescita di cristalli di alta qualità;

4. monitoraggio accurato in tempo reale della temperatura in aumento e in diminuzione per facilitare il debug dei processi;

5. opzionale modalità di funzionamento a potenza costante, corrente costante, temperatura costante;

6. una chiave di avvio intelligente, ridurre l'intervento manuale, favorendo la produzione su larga scala;

7. il forno a cristalli lunghi a induzione di carburo di silicio è adatto per la produzione di carburo di silicio di alta qualità, di alta purezza e per la sintesi di carburo di silicio,ricottura di cristalli e altri campi;

8. una macchina compatta e tridimensionale, una disposizione conveniente, una migliore utilizzazione dell'impianto;

9. utilizzando una valvola a farfalla ad alta precisione e un flussometro di massa per controllare la pressione di crescita nel forno, fornendo un'atmosfera di crescita stabile.la massima precisione di controllo della pressione di ±1Pa può essere raggiunta sotto la pressione di crescita dei cristalli.

L' effettoForno per la crescita a induzione di SiC

Il forno di crescita a induzione del carburo di silicio può produrre in modo efficiente singoli cristalli di carburo di silicio di alta qualità e con bassi difetti, la purezza cristallina può raggiungere il 99,999% o più.Questi singoli cristalli sono utilizzati per la fabbricazione di dispositivi di potenza ad alte prestazioni (come i MOSFET, diodi di Schottky) e dispositivi RF con resistenza ad alta tensione, basse perdite di carica e caratteristiche di alta frequenza, migliorando significativamente le prestazioni dei veicoli elettrici,inverter solari e apparecchiature di comunicazione 5GInoltre, l'alta stabilità a temperatura e il controllo preciso della temperatura dei forni a crescita a induzione garantiscono la consistenza cristallina e la resa.che soddisfano i severi requisiti di materiale dell'industria dei semiconduttori.

Servizio ZMSH

ZMSH fornisce servizi di progettazione, produzione, installazione e assistenza post-vendita per forni di crescita a induzione a carburo di silicio, compresa la personalizzazione delle apparecchiature,ottimizzazione dei processi e formazione tecnicaCon una tecnologia avanzata di riscaldamento ad induzione e una vasta esperienza nel settore, assicuriamo un'elevata efficienza, stabilità e basso consumo energetico delle nostre apparecchiature,fornendo una risposta rapida e un supporto tecnico 24 ore su 24, 7 giorni su 7, per aiutare i clienti a realizzare la produzione su larga scala di cristalli di carburo di silicio di alta qualità.