I tubi applicatori in zaffiro sono componenti specializzati utilizzati nelle apparecchiature per plasma e processi a semiconduttore dove il tubo può essere esposto a energia a microonde o RF, gas di processo reattivi, temperature elevate e specie generate dal plasma.

Nei sistemi al plasma remoti, il gas di processo può passare attraverso un tubo applicatore mentre l'energia a microonde viene accoppiata nella regione dell'applicatore per generare specie di plasma reattive. Lo zaffiro è particolarmente adatto per questo tipo di applicazione grazie alla sua combinazione di stabilità termica, isolamento elettrico, resistenza chimica e caratteristiche di trasmissione a microonde/RF.

I nostri tubi applicatori in zaffiro possono essere forniti come tubi individuali o come assemblaggi completi che incorporano alloggiamenti metallici di precisione, connettori filettati, interfacce di tenuta e altri componenti meccanici personalizzati.

Il prodotto mostrato qui combina un tubo di zaffiro di precisione con una struttura di montaggio metallica lavorata ed è destinato all'uso come componente di ricambio o personalizzato per apparecchiature di processo a semiconduttore.

Caratteristiche principali

Materiale in zaffiro ad alta purezza

Il tubo applicatore è fabbricato in zaffiro sintetico adatto per ambienti di apparecchiature a semiconduttore esigenti.

Lo zaffiro offre un'eccellente resistenza alle alte temperature, all'esposizione al plasma e alle condizioni di processo chimicamente aggressive, mantenendo un'elevata resistenza meccanica.

Adatto per applicazioni al plasma

I tubi in zaffiro sono ampiamente utilizzati nelle applicazioni di lavorazione dei semiconduttori, inclusi tubi applicatori al plasma, tubi di contenimento del plasma, componenti iniettori di gas di processo e relativi sistemi di generazione del plasma.

Compatibile con microonde e RF

Lo zaffiro offre eccellenti caratteristiche dielettriche e capacità di trasmissione RF/microonde, rendendolo adatto per componenti posizionati all'interno di sistemi di generazione di plasma a microonde o remoti.

Produzione di tubi di precisione

Le dimensioni del tubo possono essere controllate secondo le esigenze del cliente, tra cui:

• Diametro esterno
• Diametro interno
• Spessore della parete
• Lunghezza totale
• Geometria dell'estremità
• Struttura della spalla
• Design della scanalatura
• Finitura superficiale
• Interfaccia di assemblaggio

Assemblaggio zaffiro + metallo

Oltre alla produzione di tubi in zaffiro, possiamo fornire assemblaggi integrati che incorporano componenti metallici lavorati.

I servizi disponibili possono includere:

• Alloggiamento metallico di precisione
• Filettature esterne
• Strutture di montaggio interne
• Manicotti meccanici
• Flange
• Interfacce di tenuta
• Assemblaggio zaffiro-metallo
• Produzione di assemblaggi di ricambio

Parti di ricambio personalizzate

Supportiamo parti di apparecchiature a semiconduttore personalizzate secondo:

• Disegni del cliente
• Campioni originali
• Dimensioni dell'apparecchiatura
• Specifiche dei componenti esistenti
• Numeri di riferimento OEM
• Requisiti di reverse engineering

Ciò rende il prodotto adatto per progetti di manutenzione, sostituzione e localizzazione di apparecchiature a semiconduttore.

Applicazioni tipiche

I tubi applicatori in zaffiro possono essere utilizzati in apparecchiature e processi come:

• Sistemi di sorgente al plasma remota
• Pulizia della camera al plasma
• Generazione di plasma a microonde
• Apparecchiature CVD per semiconduttori
• Apparecchiature PECVD
• Apparecchiature HDP-CVD
• Apparecchiature per incisione al plasma
• Sistemi di incisione a secco
• Erogazione di gas di processo
• Sistemi di attivazione del gas al plasma
• Parti di ricambio per apparecchiature a semiconduttore

I tubi in zaffiro sono già utilizzati commercialmente per applicazioni di applicatori al plasma per semiconduttori, contenimento del plasma e iniettori di gas di processo.

Specifiche del prodotto

Nota: le dimensioni e le strutture di assemblaggio sono prodotte in base all'apparecchiatura del cliente, al disegno o al campione esistente.

Perché usare lo zaffiro per i tubi applicatori al plasma?

Il tubo applicatore si trova in una delle aree più impegnative di un sistema di generazione del plasma.

A seconda della progettazione dell'apparecchiatura, il tubo può incontrare simultaneamente gas reattivi, specie di plasma energetiche, energia a microonde e temperature elevate.

Rispetto ai materiali vetrosi convenzionali, lo zaffiro offre una combinazione di:

• Resistenza alle alte temperature
• Elevata resistenza meccanica
• Eccellente stabilità chimica
• Resistenza al plasma
• Buone proprietà dielettriche
• Trasmissione a microonde/RF
• Lunga durata in ambienti di processo esigenti

Per questo motivo, lo zaffiro è diventato un importante materiale ingegneristico per i tubi applicatori al plasma e altri componenti di apparecchiature di processo a semiconduttore.

Produzione personalizzata di tubi applicatori in zaffiro

Produciamo componenti in zaffiro per apparecchiature a semiconduttore con particolare attenzione alle applicazioni personalizzate e di ricambio.

Invece di limitare i clienti a dimensioni standard dei tubi, possiamo produrre parti in base ai requisiti effettivi delle apparecchiature di processo.

Le opzioni di personalizzazione includono:

Tubo in zaffiro

• OD e ID
• Lunghezza del tubo
• Spessore della parete
• Estremità del tubo
• Gradini e spalle
• Fessure e scanalature
• Rugosità superficiale
• Requisiti di lucidatura

Componenti metallici

• Dimensioni dell'alloggiamento
• Specifiche delle filettature
• Interfacce di montaggio
• Flange
• Manicotti
• Strutture dei connettori

Assemblaggio

I tubi in zaffiro possono anche essere forniti con i relativi componenti metallici come parte assemblata di apparecchiature a semiconduttore.

Servizio di ricambio e reverse engineering

Per parti di apparecchiature a semiconduttore dismesse, difficili da reperire o personalizzate, i clienti possono inviarci:

1. Numero di parte dell'attrezzatura originale
2. Disegno tecnico
3. Fotografie
4. Campione usato o nuovo
5. Dimensioni critiche
6. Modello dell'apparecchiatura
7. Informazioni sull'applicazione

Il nostro team di ingegneri può valutare la struttura e la fattibilità della produzione prima del preventivo.

Per le parti prodotte come alternative ai componenti delle apparecchiature esistenti, la compatibilità finale deve sempre essere confermata in base alla configurazione dell'apparecchiatura del cliente e alle specifiche tecniche.

Controllo qualità

A seconda dei requisiti del cliente, l'ispezione può includere:

• Ispezione dimensionale
• Ispezione OD / ID
• Misurazione dello spessore della parete
• Ispezione della lunghezza
• Ispezione superficiale
• Ispezione delle filettature
• Ispezione dell'assemblaggio
• Ispezione dei difetti visivi
• Ispezione dell'imballaggio

I rapporti di ispezione possono essere forniti in base ai requisiti del progetto.

Quali informazioni inviare per un preventivo?

Per un preventivo più rapido, si prega di fornire:

• Disegno del prodotto
• OD del tubo in zaffiro
• ID del tubo in zaffiro
• Lunghezza del tubo
• Spessore della parete
• Finitura superficiale
• Materiale dell'alloggiamento metallico
• Specifiche delle filettature
• Marca/modello dell'apparecchiatura
• Numero di parte OEM, se disponibile
• Quantità richiesta
• Ambiente di applicazione o processo

Se non è disponibile un disegno, si prega di inviare fotografie chiare e un campione fisico per la valutazione.

FAQ

A cosa serve un tubo applicatore in zaffiro?

Un tubo applicatore in zaffiro è comunemente utilizzato nelle apparecchiature al plasma per semiconduttori, in particolare nei sistemi di generazione del plasma, pulizia al plasma remota e attivazione del gas di processo.

È possibile produrre l'assemblaggio completo del tubo applicatore?

Sì. Oltre ai tubi in zaffiro, è possibile produrre alloggiamenti metallici personalizzati, componenti filettati e assemblaggi meccanici secondo disegni o campioni.

È possibile produrre sostituzioni per parti di apparecchiature a semiconduttore esistenti?

Sì. Supportiamo la produzione basata su disegno e su campione per componenti di ricambio per apparecchiature a semiconduttore. I clienti possono fornire il numero di riferimento OEM, il disegno, il campione e le informazioni sull'apparecchiatura per la valutazione.

Le dimensioni del tubo in zaffiro possono essere personalizzate?

Sì. Diametro esterno, diametro interno, lunghezza, spessore della parete, geometria dell'estremità del tubo e finitura superficiale possono essere tutti personalizzati.

Offrite piccole quantità?

Prototipi, manutenzione e progetti di apparecchiature a semiconduttore in piccoli lotti possono essere valutati in base alle dimensioni richieste e alla difficoltà di produzione.