BOROFLOAT 33 BF33 Wafer in vetro borosilicato per MEMS a semiconduttore e applicazioni ottiche

BF33 (BOROFLOAT 33) è un wafer di vetro borosilicato ad alte prestazioni prodotto utilizzando la tecnologia avanzata microfloat. È ampiamente utilizzato nelle applicazioni di semiconduttori, MEMS, ottiche e microfluidiche grazie alla sua eccellente stabilità termica, elevata trasmissione ottica e forte resistenza chimica.

Con un coefficiente di espansione termica di circa 3,3 × 10⁻⁶ /K, BF33 si avvicina molto al silicio, rendendolo un substrato ideale per l'incollaggio di wafer, la microfabbricazione e i sistemi ottici di precisione.

Offre eccellente planarità, rugosità superficiale estremamente bassa ed elevata resistenza meccanica, che lo rendono adatto per ambienti esigenti di camere bianche e ingegneria di precisione.

Proprietà dei materiali

Caratteristiche principali

• Basso coefficiente di dilatazione termica abbinato ai substrati di silicio
• Elevata trasmissione ottica dalla gamma UV al vicino infrarosso
• Eccellente resistenza chimica agli acidi, agli alcali e ai solventi
• Elevata stabilità termica fino a 450°C (uso a lungo termine)
• Resistenza a breve termine fino a 500°C
• Qualità della superficie ultra liscia (Ra < 1 nm, DSP disponibile)
• Elevata resistenza meccanica ed eccellente resistenza ai graffi
• Bassa autofluorescenza per applicazioni biomediche
• Ottima planarità e basso TTV per lavorazioni di precisione

Applicazioni

Applicazioni di semiconduttori e MEMS

• Sensori e microdispositivi MEMS
• Substrati di imballaggio a livello di wafer
• Processi di legame anodico del silicio
• Chip microfluidici e sistemi lab-on-chip
• Processi di trasporto e assottigliamento del wafer

Sistemi ottici e fotonici

• Finestre laser e componenti ottici
• Vetrini per microscopio e sistemi di imaging
• Filtri ottici e substrati di precisione
• Gruppi ottici ad alta stabilità

Dispositivi biomedici e analitici

• Biochip e piattaforme diagnostiche
• Sistemi PCR e lab-on-chip
• Sistemi di rilevamento a bassa autofluorescenza
• Dispositivi analitici microfluidici

Applicazioni industriali e ad alta temperatura

• Finestre di osservazione del forno
• Occhiali di ispezione per reattori chimici
• Finestre di protezione dei sensori
• Sistemi di monitoraggio ambientale

Specifiche disponibili

Vantaggi

Il wafer in vetro borosilicato BF33 combina espansione termica pari al silicio, eccellenti prestazioni ottiche, elevata durabilità chimica e qualità della superficie compatibile con MEMS.

È ampiamente utilizzato come materiale ponte tra la lavorazione dei semiconduttori, l'ingegneria ottica e la fabbricazione di dispositivi su microscala.

Domande frequenti

Cos'è il wafer in vetro borosilicato BF33?

BF33 è un wafer di vetro borosilicato di elevata purezza prodotto mediante tecnologia microfloat, caratterizzato da bassa espansione termica, elevata chiarezza ottica e forte resistenza chimica.

Perché BF33 viene utilizzato nelle applicazioni MEMS?

La sua espansione termica si avvicina perfettamente al silicio, riducendo lo stress durante il collegamento e migliorando la stabilità nei processi MEMS e a livello di wafer.

I wafer BF33 possono essere lucidati?

Sì, i wafer BF33 sono disponibili nei formati SSP e DSP. I wafer lucidati su entrambi i lati possono raggiungere una ruvidità superficiale inferiore a 1 nm.

BF33 è adatto per applicazioni ottiche?

Sì, fornisce un'elevata trasmissione dalle lunghezze d'onda UV a quelle del vicino infrarosso, rendendolo ideale per sistemi ottici e fotonici.

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