Tavolo ceramico al carburo di silicio per la lavorazione di wafer a semiconduttori

Tavolo ceramico al carburo di silicio per la lavorazione di wafer a semiconduttori

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Il vassoio in ceramica a carburo di silicio (SiC) è un vassoio ad alte prestazioni progettato per supportare wafer a semiconduttori e altri materiali in ambienti ad alta temperatura e chimicamente aggressivi.Nota per la sua eccellente resistenza alla corrosione, elevata stabilità termica e resistenza meccanica, il vassoio SiC garantisce prestazioni costanti e un supporto affidabile per processi critici come epitaxia, diffusione, ossidazione,e sinterizzazione ad alta temperatura.

I vassoi SiC sono ampiamente utilizzati nella produzione di semiconduttori, nella produzione di ceramiche avanzate, nella lavorazione chimica, nell'elettronica, nei componenti ottici, nell'aerospaziale, nell'automotive e nella fabbricazione di dispositivi medici.

Specificità

Metodi di produzione:Sinterizzazione senza pressione, pressatura a caldo, rivestimento CVD, legato a reazione.

Caratteristiche chiave

1. Alta stabilità termica: mantiene le prestazioni a temperature estreme, adatta per la sinterizzazione e la lavorazione dei semiconduttori.

2. Resistenza meccanica: l'elevata durezza e la capacità portante impediscono deformazioni o crepe.

3. Resistenza alle sostanze chimiche: resiste agli acidi forti, alle alcaline e alle sostanze chimiche corrosive.

4. Conduttività termica: trasferimento di calore efficiente a temperature di lavorazione uniformi.

5. Bassa espansione termica: garantisce la stabilità dimensionale sotto il ciclo termico.

6. Isolamento elettrico: fornisce un isolamento affidabile per applicazioni elettroniche.

7. Opzioni di rivestimento CVD: disponibile per una maggiore resistenza all'usura e protezione da urti termici.

8. Dimensioni e forme personalizzabili: supporta requisiti specifici del processo.

Applicazioni

• Fabbricazione di semiconduttori:Supporta i chip LED e wafer nei processi di epitaxia, diffusione e ossidazione.

• Sinterizzazione ad alta temperatura:Fornisce un supporto stabile per ceramiche e metalli durante la sinterizzazione.

• Trasformazione chimica:Gestisce in modo sicuro sostanze chimiche aggressive in ambienti industriali o di laboratorio.

• Produzione elettronica e ottica:Supporta substrati e componenti ottici che richiedono un controllo termico preciso.

• Aerospaziale e Automotive:Scaffali leggeri e resistenti adatti a componenti che necessitano di gestione termica e resistenza alla corrosione.

• Produzione di dispositivi medici:Adatto per vassoi resistenti alle sostanze chimiche e sterilizzabili.

• Produzione di batterie e industria solare:Supporta processi ad alta temperatura per batterie agli ioni di litio e celle fotovoltaiche.

• Laboratorio e ricerca e sviluppo:Ideale per esperimenti che comportano calore elevato o materiali corrosivi.

• Metallurgia della polvere e industria del vetro/ceramica:Garantisce un riscaldamento uniforme e un controllo affidabile del processo.

Vantaggi

• L'alta purezza e l'inerzia chimica riducono il rischio di contaminazione.

• Proprietà meccaniche stabili in condizioni estreme.

• Eccellente resistenza all'usura per un uso a lungo termine.

• Leggera ma resistente per una facile manipolazione.

• Versatile per applicazioni industriali multiple.

Imballaggio

Tutti i vassoi in ceramica a carburo di silicio sono accuratamente confezionati per ridurre al minimo i danni durante lo stoccaggio e il trasporto, garantendo che i prodotti arrivano in condizioni impeccabili.

Domande frequenti

1 I vassoi in ceramica SiC possono resistere a temperature estreme durante la produzione di semiconduttori?

Sì, i vassoi in ceramica SiC sono progettati per resistere a temperature di funzionamento continue fino a 1650°C, rendendoli ideali per processi ad alta temperatura come epitaxia, diffusione,e ossidazione nella produzione di semiconduttori e LED.

2 Quanto sono resistenti i vassoi a SiC alla corrosione e all'esposizione chimica?

I vassoi in SiC offrono un'eccezionale resistenza chimica agli acidi forti, alle alcaline, al plasma e ad altri ambienti corrosivi.recipienti di reazione chimica, e altri ambienti industriali difficili in cui l'integrità dei materiali è fondamentale.

3 I vassoi in ceramica SiC sono personalizzabili in termini di dimensioni, forma e rivestimento?

Sì, i vassoi in ceramica SiC possono essere personalizzati per soddisfare requisiti specifici, tra cui dimensioni, spessore e finitura superficiale.Offriamo rivestimenti CVD per una maggiore resistenza all'usura e una migliore resistenza allo shock termico, a seconda delle esigenze della domanda.

Riassunto

I vassoi ceramici a carburo di silicio ZMSH combinano eccellenza termica, chimica e meccanica per fornire una piattaforma affidabile per wafer a semiconduttori e processi di produzione avanzati.La loro elevata precisione, resistenza alla corrosione e stabilità termica li rendono componenti essenziali nelle moderne industrie ad alta tecnologia.

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