1 pollice Single Wafer Cassette per lo stoccaggio di wafer ESD-Safe

Cassetta per wafer singolo da 1 pollice per lo stoccaggio di wafer a prova di ESD

La cassetta per wafer da 1 pollice è un contenitore specializzato progettato per lo stoccaggio, il trasporto e la movimentazione automatizzata di wafer da 1 pollice (25,4 mm) nella produzione di semiconduttori, dispositivi optoelettronici e ricerca e sviluppo microelettronica. Prodotta con polimeri ad alta purezza (come PEEK o PVDF) o materiali antistatici, garantisce la protezione dei wafer contro la contaminazione, i danni elettrostatici e gli impatti fisici in ambienti a camera bianca. Conforme agli standard SEMI, la cassetta è adatta per sistemi di trasferimento automatico di wafer in processi tra cui MOCVD, PECVD, litografia e incisione.

Cassetta per wafer da 1 polliceCaratteristiche principali

1. Prestazioni ultra-pulite:

• Cassetta per wafer da 1 pollice certificata per camera bianca di Classe 100 con generazione di particelle ultra-bassa (<5 particlesft³ for>0,1μm)

• La finitura superficiale liscia previene i graffi del wafer

2. Protezione ESD:

• Rivestimento rinforzato con fibra di carbonio o antistatico con resistività superficiale di 10⁶-10⁹Ω/sq

• La cassetta per wafer da 1 pollice previene efficacemente l'attrazione di particelle e i danni da scariche elettrostatiche

3. Affidabilità meccanica:

• Resistenza alle alte temperature (fino a 150°C) e resistenza chimica (contro acidi, alcali e solventi organici)

• Design testato alle vibrazioni della cassetta per wafer da 1 pollice conforme per un trasporto sicuro

4. Compatibilità con l'automazione:

• Interfacce standardizzate della cassetta per wafer da 1 pollice (compatibili con SMIF/FOUP) per la movimentazione robotica

• Compatibile con le principali apparecchiature per semiconduttori (ASML, Applied Materials, ecc.)

5. Protezione di precisione del wafer:

• Precisione del passo degli slot della cassetta per wafer da 1 pollice ±0,1 mm con errore di posizionamento del wafer ≤0,05 mm

• Slot per tag RFID opzionali per la tracciabilità del wafer