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Wafer di vetro di cristallo di quarzo da 6 pollici di diametro 150 mm, purezza 5N SiO₂
ZMSH è specializzata nella produzione di wafer di quarzo da 6 pollici, offrendo:
Personalizzazione multi-dimensione: wafer standard da 6 pollici più varianti da 4", 8" e 12"
Lavorazione dei bordi: opzioni per bordi smussati, intagli e piani di orientamento
Trattamenti superficiali: servizi personalizzati di lucidatura, rivestimento e modellatura
Parametro per 62. D: In che modo la purezza del wafer di quarzo (≥99,999%) influisce sui processi ad alta temperatura?
| Parametro |
Specifica |
| Diametro |
6 pollici (150 mm) |
| Intervallo di spessore |
0,5 mm~3,0 mm |
| Tolleranza di spessore |
±0,02 mm |
| Variazione totale dello spessore |
≤10μm |
| Rugosità superficiale (lucidata) |
≤0,5 nm Ra |
| Parallelismo |
≤3μm |
| 0,55×10⁻⁶/°C (espansione termica ultra-bassa) |
0,55×10⁻⁶/°C |
| Trasmittanza @193nm |
>92% |
| Resistività |
>10¹⁶ Ω·cm |
| Compatibilità con il vuoto |
10⁻¹⁰ Torr |
| Resistenza alla flessione (rinforzata) |
500-700 MPa |
Applicazioni strategiche Proprietà chiavedel wafer di quarzo da 6 pollici2. D: In che modo la purezza del wafer di quarzo (≥99,999%) influisce sui processi ad alta temperatura?
| Specifiche tecniche |
Elevata purezza |
| ≥99,999% contenuto di SiO₂ |
CTE (20-300°C) |
| 0,55×10⁻⁶/°C (espansione termica ultra-bassa) |
Resistenza alla trazione |
| 50-70 MPa (opzioni chimicamente rinforzate disponibili) |
Trasmittanza ottica |
| >92% @190-3500nm (spettro UV-NIR) |
Proprietà elettriche |
| Resistività >10¹⁶ Ω·cm, coefficienti piezoelettrici |
|
Applicazioni strategiche del wafer di quarzo da 6 polliciR: I wafer di quarzo da 6 pollici (150 mm) offrono il 56% in più di area utilizzabile rispetto ai wafer da 4 pollici, riducendo significativamente le perdite di esclusione dei bordi e migliorando la produttività per il packaging avanzato e la produzione di MEMS.2. D: In che modo la purezza del wafer di quarzo (≥99,999%) influisce sui processi ad alta temperatura?
packaging di semiconduttori
, fabbricazione di chip, e campi correlati, in particolare nella produzione di:- Chip di memoria(DRAM, NAND Flash)
- Dispositivi analogici/di potenza(IGBT, MOSFET)
- Sensori avanzati(MEMS, sensori di immagine CMOS)
2. Componenti otticiGrazie alla loro
elevata trasmittanza ottica
e CTE ultra-basso, tra cui:- Lenti di precisione(asferiche, array di microlenti)
- Filtri ottici(banda passante, dicroici)
- Guide d'onda(IC fotonici, elementi di accoppiamento in fibra)
3. MEMS (sistemi micro-elettromeccanici)I wafer di quarzo fungono da substrati premium per i dispositivi MEMS grazie alla loro
stabilità dimensionale
e robustezza meccanica, tra cui:- Microsensori(pressione, inerziali, biosensori)
- Microattuatori(interruttori RF, trasduttori piezoelettrici)
- Risonatori(filtri 5G, dispositivi di temporizzazione)
4. TFT-LCD in polisilicio ad alta temperaturaI wafer di quarzo sono fondamentali nella produzione di
display ad alte prestazioni
, in particolare:- Backplane HTPS (High-Temperature Poly-Si) TFT- Microdisplay
(AR/VR, LCoS)
- Pannelli LCD avanzati(substrati di incapsulamento OLED)
Servizi di produzione personalizzati di
6
wafer di quarzo da polliciForniamo soluzioni end-to-end:2. D: In che modo la purezza del wafer di quarzo (≥99,999%) influisce sui processi ad alta temperatura?
2. Lavorazione di precisione:
- Taglio laser (±5μm di tolleranza)
- Foratura a ultrasuoni (rapporto di aspetto 10:1)
3. Ingegneria delle superfici:
- Nano-lucidatura (Ra
<0,3 nm)
- Rivestimenti antiriflesso DUV/IR4. Controllo qualità:
- Lavorazione in camera bianca di classe 10
- Rapporti metrologici completi (TTV, deformazione, curvatura)
FAQ
del wafer di quarzo da 6 pollici
1. D: Quali sono i vantaggi dei wafer di quarzo da 6 pollici rispetto alle dimensioni più piccole nella produzione di semiconduttori?R: I wafer di quarzo da 6 pollici (150 mm) offrono il 56% in più di area utilizzabile rispetto ai wafer da 4 pollici, riducendo significativamente le perdite di esclusione dei bordi e migliorando la produttività per il packaging avanzato e la produzione di MEMS.2. D: In che modo la purezza del wafer di quarzo (≥99,999%) influisce sui processi ad alta temperatura?
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