Portatore di barche in ceramica SiC personalizzato per la movimentazione di wafer

Portatore di barche in ceramica SiC personalizzato per la movimentazione di wafer

Il portabarchi in ceramica a carburo di silicio (SiC) personalizzato è una soluzione di gestione dei wafer ad alte prestazioni progettata per i processi di produzione di semiconduttori, fotovoltaici e LED.Progettato per la stabilità ad alta temperatura, resistenza chimica e ultra-basso livello di contaminazione, questo vettore garantisce un trasporto sicuro ed efficiente dei wafer in ambienti difficili come CVD, forni a diffusione e camere di ossidazione.

Principali vantaggi della barca in ceramica SiC

Alta stabilità termica ️ Resiste a temperature fino a 1.600°C senza deformazioni.

Inerzia chimica ️ Resiste all'erosione da acidi, alcalini e plasma, garantendo una durata lunga.

Generazione di particelle basse

Progettazione personalizzabile: adattata alle dimensioni del wafer, all'ampiezza delle slot e alle esigenze di movimentazione

Ideale per fabbriche di semiconduttori, produzione MEMS e lavorazione di semiconduttori composti

Specificità

Applicazioni di barche in ceramica SiC

1. Fabbricazione di semiconduttori
✔ Forni di diffusione e di ricottura
- Stabilità ad alte temperature
- bassa espansione termica (4.3×10−6/K)

✔ CVD ed epitaxia (crescita di SiC/GaN)
- Resistenza alla corrosione dei gas Inerte al SiH4, NH3, HCl e ad altri precursori aggressivi.
- Superficie priva di particelle

✔ Implantazione ionica
- Riservato alle radiazioni Nessuna degradazione sotto bombardamento ionico ad alta energia.

2. elettronica di potenza (dispositivi SiC/GaN)
✔ Trasformazione di Wafer in SiC
- Corrispondenza CTE (4.3×10−6/K) ️ Minimizza lo stress a 1.500°C+ di crescita epitaxiale.
- Alta conduttività termica (160 W/m·K)

✔ Dispositivi con GaN su SiC
- Non Contaminanti Nessun rilascio di ioni metallici rispetto alle barche di grafite.

3Produzione fotovoltaica (cellule solari)
✔ Cellule solari PERC e TOPCon
- Resistenza alla diffusione del POCl3
- Lunga durata di vita ¥ 5-10 anni rispetto a 1-2 anni per le barche in quarzo.

✔ Solari a pellicola sottile (CIGS/CdTe)
- Resistenza alla corrosione Stabile nei processi di deposizione di H2Se e CdS.

4. LED e optoelettronica
✔ Mini/Micro-LED Epitaxy
- Disegno di slot di precisione
- Compatibile con la stanza pulita Risponde agli standard di particolato SEMI F57.

5Ricerca e applicazioni specializzate
✔ Sintesi di materiale ad alta velocità
- Aiuti alla sinterizzazione (ad esempio, B4C, AlN)
- Crescita cristallina (ad esempio, Al2O3, ZnSe) Non reattivo con materiali fusi.

Domande frequenti

Q1:Quali dimensioni di wafer sono supportate?

Standard: 150mm (6"), 200mm (8"), 300mm (12").

Q2: Qual è il tempo di consegna per i disegni personalizzati?

- Modelli standard: 4-6 settimane.
- Completamente personalizzato: 8-12 settimane (a seconda della complessità).